ZZJ-1112R系列半導體FPD檢測金相顯微鏡
一、 儀器概述:
全新的ZZJ-1112R半導體 \FPD 檢查顯微鏡,最大支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,含 4、6、8、12英寸多種轉盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計全面提升,為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調,正像,瞳距調節(jié):50-76mm,分光比 100:0 或 0:100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm,視度可調,可帶單刻度十字分劃版 |
物鏡 | 無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X |
無限遠長工作距明暗場半復消金相 DIC 物鏡 20X | |
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡 50X 100X | |
轉換器 | 明暗場六孔電動轉換器,帶 DIC 插槽 |
機架組 | 反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統 |
透反機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 35mm,微調精度 0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統 | |
載物臺 | 右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺,低手位 X、Y 方向同軸調節(jié) ;平臺面積 718mmX420mm,移動范圍 :356mmX305mm |
帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動 ;玻璃載物臺板 ( 反射用) | |
電動平臺 | 面積 495mmX641mm,移動范圍 :306mmX306mm ;軟件控制 X、Y 移動,重復定位精度,(3+L/50)μm 帶平板平臺 |
照明系統 | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調 ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調焦 |
其他 | 起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,反射用干涉濾色片組 ;高精度測微尺 ;DIC 組件 |