ZZC系列工具測量顯微鏡技術參數(shù)
標準機型:
一、載物臺精度
1.1、XY跑數(shù):5μm
1.2、線性精度:3 + L/50μm (L為被測長度 單位:mm)
規(guī)格 金屬臺面尺寸 玻璃臺面尺寸 測量有效行程 光柵尺分辨率
ZZC-16HFA(16*12) 600*450 450*350 400*300 0.0005
ZZC-12HFA(12*8) 500*350 350*250 300*200 0.0005
ZZC-8HFA(8*6) 400*280 245*192 200*150 0.0005
ZZC-6HFA(6*4) 300*250 204*145 150*100 0.0005
ZZC-4HFA(4*4) 285*250 170*145 100*100 0.0005
1.3、重復定位精度:2μm
1.4、X⊥Y: 3μm /100mm(每100mm允許誤差3μm)
二、Z軸測量精度
2.1、線性精度:5+ L/25μm
2.2、Z重復定位精度:3μm
2.3、X⊥Z: 0.02mm
2.4、Y⊥Z: 0.02mm
高精度機型:
一、載物臺精度
1.1、XY跑數(shù):3μm
1.2、線性精度:2.5 + L/100μm (L為被測長度 單位:mm)
規(guī)格 金屬臺面尺寸 玻璃臺面尺寸 測量有效行程 光柵尺分辨率
ZZC-G12HFA(12*8) 500*350 350*250 300*200 0.0001
ZZC-G8HFA(8*6) 400*280 245*192 200*150 0.0001
ZZC-G6HFA(6*4) 300*250 204*145 150*100 0.0001
ZZC-G4HFA(4*4) 285*250 170*145 100*100 0.0001
1.3、重復定位精度:1μm
1.4、X⊥Y: 2μm /100mm(每100mm允許誤差2μm)
二、Z軸測量精度
2.1、線性精度:3+ L/25μm
2.2、Z重復定位精度:1μm
2.3、X⊥Z: 0.01mm
2.4、Y⊥Z: 0.01mm