工業(yè)測量顯微鏡也叫工具顯微鏡,廣泛應(yīng)用于多個行業(yè);
特別在電子行業(yè),廣泛應(yīng)用于電路板、液晶模組、IC、光通訊、模具五金、汽車行業(yè)、計量行業(yè)和其它領(lǐng)域;
搭配XYZ三軸精密光柵尺,實現(xiàn)精確XYZ三軸測量、超視野XY幾何測量。
觀察、測量和處理,一步到位。
工業(yè)測量顯微鏡
工業(yè)測量顯微鏡有兩種照明方式:反射光和透射光。
照明方式不同,觀察成像也不同,因此需要根據(jù)不同的工件以及測量部位,選擇最適合的照明方式。
NO.1 透射照明
★采用透過輪廓光觀察的方法,特別是觀察測量輪廓時使用,邊緣清晰易于觀察。
NO.2 反射照明
★垂直照射測量工件的表面,用來表面性狀的觀察和測量。
使用工業(yè)測量顯微鏡有四種觀察方法,分別是:明場觀察、暗場觀察、偏光觀察、微分干涉(DIC)觀察。
NO.1 明場觀察
★垂直照射在樣品表面,適用于金屬、印刷電路板、IC、液晶ITO淺孔的表面觀察。
NO.2 暗場觀察
★通過對從工件發(fā)出的散射光進行觀察,可完成在明場下觀察不到的PCB油墨顏色、塵埃、劃痕裂縫、凹凸、以及勝任低反射樣品的觀察。
NO.3 偏光觀察
★觀察具有偏光特性的物質(zhì),適用于半導(dǎo)體材料、液晶、結(jié)晶、金屬組織、礦物、纖維等表面觀察。
NO.4 微分干涉(DIC)觀察
★利用DIC棱鏡將光線分為兩束,形成明暗和對比度變化,可進行立體觀察。適用于觀察液晶模組的壓焊粒子,硅片的結(jié)晶缺陷、磁頭研磨面的損傷檢測、金屬組織、礦石表面、涂裝面等。