本文旨在為使用顯微鏡檢測(cè)客戶提供實(shí)用建議，幫助他們選擇最佳的照明或照明系統(tǒng)進(jìn)行零件或零件觀察。顯微鏡使用的照明會(huì)影響最終的圖像質(zhì)量，對(duì)可視化細(xì)節(jié)產(chǎn)生顯著影響。以下信息可以幫助用戶選擇可以根據(jù)顯微分析要求提高顯像結(jié)果的照明。

　　檢查顯微鏡需要什么樣的照明?

　　工業(yè)生產(chǎn)與生產(chǎn)，工藝工藝，質(zhì)量控制與保證(QC/QA)、故障分析(FA)或研發(fā)(R&D)顯微鏡通常需要對(duì)零件進(jìn)行檢查。所用顯微鏡的性能對(duì)檢驗(yàn)效率有很大影響。

　　根據(jù)此類零件的類型和必須顯示的感興趣細(xì)節(jié)[1-4]，如何選擇有助于使用顯微鏡檢測(cè)用戶獲得最佳圖像結(jié)果的照明。

　　本文可以為需要使用顯微鏡檢測(cè)的客戶提供實(shí)用的建議，幫助他們選擇最佳的照明或照明系統(tǒng)進(jìn)行零件或零件觀察。以下信息可以幫助用戶選擇適合顯微分析的照明。

　　哪種類型的顯微鏡光源?

　　顯微分析的最佳選擇?

　　十到二十多年前，鹵素?zé)鬧5]是顯微鏡檢查中最常用的照明類型。然而，從那以后，LED(發(fā)光二極管)燈[6、7]顯微鏡照明的應(yīng)用越來越多。

　　LED照明的優(yōu)點(diǎn)

　　與鹵素?zé)粝啾?，LED顯微鏡照明技術(shù)可以為顯微鏡成像提供許多優(yōu)點(diǎn)。主要包括：

　　使用壽命較長(25,000至50,000小時(shí))

　　更低的功耗

　　色溫自然

　　即使在低亮度條件下也能保持穩(wěn)定的色溫。

　　加熱較低(用作冷光燈，用于溫度敏感樣品)

　　設(shè)計(jì)更加實(shí)用和緊湊。

　　為什么顯微鏡照明?

　　顯微分析過程中極其重要?

　　為了對(duì)零件或零件進(jìn)行高質(zhì)量的顯微觀察和顯像，如果需要選擇合適的照明類型，應(yīng)考慮哪些關(guān)鍵因素：

　　待觀察的樣品類型(零件、零件等);

　　樣品特性(亮度或透明區(qū)域、孔洞、劃痕、表面結(jié)構(gòu)等)需要分析。;

　　目前在某些特定應(yīng)用中很難使用照明類型(顯微分析)，F(xiàn)A、R&D等);

　　在顯微鏡觀察過程中，需要觸摸樣品，例如，使用鑷子、烙鐵或其他工具[8]，這些工具需要在樣品和物鏡之間保持足夠的工作距離、9]。

　　使用顯微鏡進(jìn)行檢查的用戶可以嘗試多種照明類型來找到最佳照明[10、11]。

　　選用合適的LED顯微鏡照明。

　　LED照明解決方案描述如下。包括LED3000和LED5000系統(tǒng)，主要用于立體[9]或數(shù)字顯微鏡[12]，通常用于顯微分析。其他應(yīng)用示例需要使用，包括故障分析(FA)和研發(fā)(R&D)。表1顯示了LED3000和LED5000照明系統(tǒng)的一些基本信息。

　　簡(jiǎn)述LED3000和LED5000顯微鏡照明解決方法

　　環(huán)形燈(RL)提供明亮均勻的照明;適用于各種類型的零件。此外，擴(kuò)散器和偏振光組可以用于兩種類型的環(huán)形燈。這些配件可以減少明亮的光線和明顯的斑點(diǎn)。

　　同軸照明(CXI)，其中，光束通過光學(xué)設(shè)備引導(dǎo)反射零件，最適合光滑和反射零件。這種燈源特別有用，如果需要評(píng)估微小裂紋或表面質(zhì)量。

　　近豎直照明(NVI)通過放置在光軸附近的LED燈來實(shí)現(xiàn)。它可以提供基本沒有陰影的照明，適用于有凹槽和深孔的零件，或者需要很長工作距離的零件。

　　采用靈活鵝頸設(shè)計(jì)的聚光燈照明。(SLI)提供適用于各類零件的高對(duì)比照明。

　　DI和高度漫射照明(DI和HDI)專門為反光、非平面或彎曲部件設(shè)計(jì)。由于背折射光的總數(shù)，這種情況很難看到。

　　多種對(duì)比照明，利用兩種不同方向和角度的照明來實(shí)現(xiàn)可重復(fù)對(duì)比，對(duì)于難以找到細(xì)節(jié)的零件尤其有用。

　　背光照明(BLI)能為具有透明區(qū)域的零件提供散射照明。

　　LED3000和徠卡LED5000的照明效果

　　下面顯示了不同的樣品示例圖。這些圖像記錄了徠卡立體顯微鏡(M60或M125)，它們配有FlexacamC3顯微鏡相機(jī)和LED3000或LED5000照明系統(tǒng)。使用的照明類型是環(huán)形燈(RL)[帶漫射器或偏振器]、近豎直(NVI)、同軸(CXI)、聚光燈(SLI)、多重對(duì)比(MCI)和漫射(DI)或高度漫射(HDI)照明。

　　參考樣品：硬幣

　　顯示了使用各種LED照明來獲取金屬硬幣圖像。硬幣圖像清晰地顯示了不同對(duì)比度帶來的差異。

　　h：聚光燈照明(SLII)，雙燈印刷電路板(PCB)

　　印刷電路板(PCB)

　　顯示使用RL、NVI和SLI照明記錄的印刷電路板圖像。

　　聚光燈照明(SLI)：晶圓加工具有多種特性

　　晶圓加工

　　使用RL顯示圖3、NVI、晶圓加工圖像記錄在CXI和SLI照明中。

　　汽車零部件

　　使用RL顯示圖4、鏈輪圖像記錄在NVI和SLI照明中。

　　醫(yī)療器械

　　使用RL顯示圖5、髖關(guān)植入物圖像記錄在NVI或SLI照明中。

　　顯微鏡檢測(cè)時(shí)LED照明選擇指南

　　下表2顯示了LED3000和LED5000系列照明解決方案的快速選擇指南。LED3000系列專門為常規(guī)應(yīng)用(如纖維分析和質(zhì)量控制)設(shè)計(jì)，而LED5000系列更適合先進(jìn)應(yīng)用(如故障分析和研發(fā))。該指南可以幫助顯微鏡客戶為特定部件或部件的顯微分析找到最合適的照明系統(tǒng)。

　　快速選擇LED3000/LED5000指南

　　其他推薦

　　除了整合到徠卡顯微鏡的優(yōu)質(zhì)光學(xué)設(shè)備外，在選擇照明系統(tǒng)時(shí)，還必須確定要分析的部件細(xì)節(jié)和觀察所需的視場(chǎng)(物場(chǎng))。還應(yīng)考慮顯微鏡計(jì)算機(jī)編碼的優(yōu)點(diǎn)和顯微鏡的光學(xué)性能，如物鏡在傳輸、偏色校準(zhǔn)和平面誤差方面的優(yōu)點(diǎn)，即平面重新消除色差和消除色差。