電子顯微鏡是目前應(yīng)用最廣泛的顯微鏡之一。它可以將非常小的物體放大到2000倍，通過電子顯微鏡可以清楚地觀察到金屬原子的結(jié)構(gòu)，甚至半導(dǎo)體原子的整體排列。電子顯微鏡是一種非常神奇的儀器，那么電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)是什么呢？下面小編就給大家介紹一下。

電子顯微鏡結(jié)構(gòu)：

電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜組成。

鏡筒主要由電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測器組成，通常自上而下組裝成柱體。

電子透鏡用于聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中最重要的組成部分。一般使用磁透鏡，有時(shí)使用靜電透鏡。它利用對(duì)稱于鏡筒軸的空間電場或磁場將電子軌跡彎曲到軸線上形成聚焦，與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡(凸透鏡)使光束聚焦相同，因此被稱為電子透鏡。光學(xué)透鏡的焦點(diǎn)是固定的，電子透鏡的焦點(diǎn)是可以調(diào)節(jié)的，所以電子顯微鏡沒有光學(xué)顯微鏡那樣可移動(dòng)的透鏡系統(tǒng)。

現(xiàn)代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，通過帶極靴的線圈產(chǎn)生的強(qiáng)磁場聚焦電子。電子源由釋放自由電子的陰極、柵極和環(huán)加速電子的陽極組成。陰極和陽極之間的電壓差必須很高，一般在千伏到300萬伏之間。它能發(fā)射并形成速度均勻的電子束，因此加速電壓的穩(wěn)定性要求不低于萬分之一。

樣品可以穩(wěn)定地放置在樣品架上，通常還有一個(gè)裝置可以用來改變樣品（如移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、加熱、冷卻、拉長等）。探測器用于收集電子信號(hào)或二次信號(hào)。真空裝置用于保證顯微鏡中的真空狀態(tài)，使電子在其路徑上不被吸收或偏離，由機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥組成，并通過抽氣管與鏡筒連接。

電源柜由高壓發(fā)生器、勵(lì)磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。

以上內(nèi)容是電子顯微鏡結(jié)構(gòu)的介紹。根據(jù)結(jié)構(gòu)和用途，電子顯微鏡可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡。透射式電子顯微鏡常用于觀察普通顯微鏡無法區(qū)分的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu)；掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形狀，也可與X射線衍射器或電子能譜儀相結(jié)合，形成物質(zhì)成分分析的電子微探針；發(fā)射式電子顯微鏡用于研究自發(fā)式電子表面。