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知識(shí)共享-工業(yè)測(cè)量顯微鏡專業(yè)術(shù)語(yǔ)及基礎(chǔ)知識(shí)

時(shí)間:2023-04-23 09:35:39 來(lái)源: 點(diǎn)擊:

  

  顯微鏡在工業(yè)測(cè)量中的應(yīng)用非常重要,其應(yīng)用范圍非常廣泛。特別是對(duì)電子行業(yè)來(lái)說(shuō),這是觀察電路板結(jié)構(gòu)和精確測(cè)量距離的有益助手。你對(duì)它的專業(yè)術(shù)語(yǔ)了解多少?

  從顯微鏡的主要組成和光路圖開始,今天分享的內(nèi)容。

  照明方式

  上面提到了顯微鏡的三種照明方法。根據(jù)照明方法的不同,觀察顯像也不同,因此應(yīng)根據(jù)不同的工件和測(cè)量位置選擇最合適的照明方法。

  01

  散射照明

  采用輪廓光觀察的方法,尤其是在觀察和測(cè)量輪廓時(shí),邊緣清晰,更容易觀察。

  02

  垂直反射照明

  其方法是對(duì)工件表面進(jìn)行垂直直射測(cè)量,其優(yōu)點(diǎn)是適用于表面特性的分析和測(cè)量。

  03

  外部照明(環(huán)形光纖,環(huán)形LED,雙光纖)

  利用斜射光對(duì)工件表面進(jìn)行直接測(cè)量,可完成立體、色彩重復(fù)性好的分析。

  以上我們已經(jīng)了解了顯微鏡的基本知識(shí),所以在使用過(guò)程中會(huì)遇到一些專業(yè)術(shù)語(yǔ)。這是什么意思?

  【專業(yè)術(shù)語(yǔ)】

  綜合放大倍率

  綜合放大倍數(shù)=目鏡倍數(shù)x物鏡倍數(shù)。

  例如:在選擇10x目鏡和100x物鏡組合時(shí),觀察圖像的綜合放大倍率=10x100=1000x。

  視場(chǎng)數(shù)(F.N)

  視場(chǎng)數(shù)是指目鏡能否在廣視線下觀察的指標(biāo)。樣品表面分析的重點(diǎn)在于目鏡的視場(chǎng)光闌直徑,稱為視場(chǎng)數(shù)(以mm為基準(zhǔn))。F.N=FieldNumber。

  【安裝1x物鏡時(shí),通過(guò)目鏡看到的圖像直徑為24mm】

  實(shí)視場(chǎng)(FOV)

  實(shí)際觀察和觀察工件的實(shí)際范圍,采用目鏡觀察。

  即FOV:FieldOfView

  【在分割板上(顯像鏡頭焦點(diǎn)位置)通過(guò)物鏡和顯像鏡頭之間的光進(jìn)行顯像,觀察被目鏡放大的圖像】

  PC顯示倍數(shù)(TV綜合倍數(shù))

  PC顯示器倍數(shù)(電視綜合倍數(shù))是指相機(jī)拍攝元件的對(duì)角線長(zhǎng)度與PC顯示器屏幕的對(duì)角線長(zhǎng)度之比。當(dāng)顯微鏡通過(guò)CCD設(shè)備連接到計(jì)算機(jī)上進(jìn)行顯像觀察時(shí),應(yīng)該對(duì)顯示器倍數(shù)進(jìn)行評(píng)估。

  計(jì)算PC顯示器倍數(shù)(TV綜合倍數(shù))的公式如下:

  了解計(jì)算方法,一起檢查學(xué)習(xí)成果吧!測(cè)試如下:

  問(wèn)答題

  使用10×物鏡?CCD相機(jī)2/3英尺?TV17英寸顯示器的綜合倍數(shù)是多少?

  回答:電視綜合倍數(shù)=10×39.3=393×(大概400倍)

  您是否正確回答?沒答對(duì)的朋友記得保存起來(lái),多復(fù)習(xí)哦!具體分析如圖所示:

  工作距離(WD)

  工作距離代表聚焦時(shí)物體鏡頭的頂點(diǎn)到檢查材料表面之間的距離,在這個(gè)距離下可以完成清晰的聚焦。工作距離越長(zhǎng),聚焦時(shí)操作性越好,不用擔(dān)心鏡頭會(huì)接觸到檢查對(duì)象。

  WD:WorkingDistance,如下所示,距離示意圖:

  齊焦距離(PFD)

  聚焦距離是指聚焦時(shí)從物鏡安裝位置到聚焦時(shí)檢查材料表面之間的距離。也就是PFD:ParFieldDistance

  這里需要注意的是,倍數(shù)不同,從物鏡安裝面到檢查材料表面的距離沒有變化,所以在變化倍數(shù)時(shí)不需要重新對(duì)焦。

  焦點(diǎn)距離(FD)

  焦距是指鏡頭(主點(diǎn))到焦距的距離。也就是FD:FocusDistance

  焦點(diǎn)深層(DOF)

  焦點(diǎn)深層代表焦點(diǎn)后,焦點(diǎn)位置前后移動(dòng),前后移動(dòng)范圍可以清晰觀察。也就是DOF。:DepthOfFocus

  這里需要注意的是:高倍率鏡頭倍數(shù)越大越深越淡(短)

  低倍鏡頭倍數(shù)越小越深(長(zhǎng))

  大約0.1到0.3人的視力范圍(大約0.1到0.3mm)要用顯微鏡觀察,有哪些觀察顯微鏡的方法?

  觀察方法

  01

  明視場(chǎng)觀察

  這種方法適用于金屬、印刷電路板、淺孔表面觀察的垂直直射測(cè)量物表面。

  02

  暗視場(chǎng)觀察

  通過(guò)觀察工件發(fā)出的散射光,可以完成在明視場(chǎng)下無(wú)法觀察到的劃痕、灰塵和凹凸,同時(shí)可以作為低反射工件觀察。

  03

  偏光觀察

  在半導(dǎo)體材料、液晶、晶體、金屬組織、礦物等表面觀察中,觀察具有偏光特征的物質(zhì)。

  04

  微分干預(yù)(DIC)觀察

  利用Nomarski棱鏡將光源分成兩束,產(chǎn)生明暗和對(duì)比變化,可以進(jìn)行三維觀察。適用于觀察硅片的晶體缺陷、磁頭磨面的損壞檢查、涂層表面、金屬組織、礦石表面等。


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