數(shù)碼顯微鏡23個#電子材料7個#質(zhì)量控制5個#DVM6#研究開發(fā)1個微電子和電子學(xué)的革新導(dǎo)致了樣品越來越小，傳統(tǒng)的雙目顯微鏡也在不斷面臨挑戰(zhàn)。然而數(shù)碼顯微鏡不使用目鏡，而是用戶可直接通過顯示器進行觀察的特點，讓微電子的觀察效率有了很大的提高。

　　控制(QC/QA)或開發(fā)(R&D)時，一些微電子器件的生產(chǎn)，如硬盤驅(qū)動器，要求對其各個部件進行檢查和質(zhì)量控制，全尺寸：從宏觀(>2毫米)->介觀尺度(10mm~25μm)->微觀尺度(1000μm~500nm)->納米尺度(<500nm)。需要使用數(shù)碼顯微鏡對零件快速進行大視野成像，以及精準(zhǔn)的尺寸計量。從而滿足更快的改進制作規(guī)范以及生產(chǎn)需求，優(yōu)化整個工作流程。使用徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡的以下性能，可快速得出檢查的可靠結(jié)果。本報告的重點將是大視野、測量功能及傾斜角度(下述紅色字體部分)。

　　自動跟蹤和存儲的可重復(fù)，顯微鏡最重要的硬件參數(shù)可記憶(編碼)，例如，使用的倍數(shù)，照明和相機設(shè)置等參數(shù)條件可快速重現(xiàn);

　　超大變焦范圍16：1，鏡頭切換支持熱插拔;

　　二維尺寸測量及三維尺寸測量

　　快速角度旋轉(zhuǎn)，傾斜角度不同視角觀察樣品;

　　集成LED(發(fā)光二極管)環(huán)形光和同軸光，具有多方向的照明模式;

　　數(shù)字快照和數(shù)字10MP的數(shù)碼相機，高畫質(zhì)成像;

　　XY拼圖功能和Z軸掃描成像功能，可拍攝大范圍大景深的圖像;

　　DVM6數(shù)碼顯微鏡滿足微觀尺寸(10mm~500nm)的觀察，例如在電子零件領(lǐng)域用于測量硬盤驅(qū)動器上零件通孔的直徑、周長和深度分布，以及焊點的長度、面積和高度分布。