根據(jù)電子光學(xué)原理,電子顯微鏡用電子束和電子透鏡代替光束和光學(xué)透鏡,使物質(zhì)的細(xì)微結(jié)構(gòu)在非常高的放大倍數(shù)下成像。
近年來,電子顯微鏡的研究和制造取得了很大的進(jìn)展:一方面,電子顯微鏡的分辨率不斷提高,透射電子顯微鏡的點分辨率達(dá)到0.2-0.3nm,晶格分辨率已達(dá)到0.1nm左右兩側(cè),通過電子顯微鏡,人們可以直接觀察到原子圖像;另一方面,除了透射電子顯微鏡外,還開發(fā)了各種電子顯微鏡,如掃描電子顯微鏡、分析電子顯微鏡等。雖然電子顯微鏡的分辨能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)好于光學(xué)顯微鏡,但由于電子顯微鏡需要在真空條件下工作,很難觀察活生物,電子束的照射也會損壞生物樣品。
電子顯微鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng)三部分組成,下面小編就簡單介紹三個部分:
一、電子光學(xué)系統(tǒng)
1.電子光學(xué)系統(tǒng)主要包括電子槍、電子鏡頭、樣品架、熒光屏和攝影機(jī)構(gòu)等部件,這些部件通常從上到下組裝成一個柱體。
2.電子槍由鎢絲熱陰極、柵極和陰極組成。它可以以均勻的速度發(fā)射和形成電子束,因此加速電壓的穩(wěn)定性要求不小于萬分之一。
3.電子透鏡是電子顯微鏡鏡頭管中最重要的組成部分。它使用一個對稱的空間電場或磁場,使電子軌跡向軸彎曲,形成聚焦。它的作用類似于玻璃凸透鏡對光束聚焦的作用,因此被稱為電子透鏡?,F(xiàn)代電子顯微鏡大多使用電磁透鏡,通過帶有極性靴子的線圈產(chǎn)生的穩(wěn)定的直流勵磁電流產(chǎn)生的強(qiáng)磁場來聚焦電子。
二、真空系統(tǒng)
為了保證整個通道只與樣品相互作用,不與空氣分子碰撞,整個電子通道必須從電子槍放置在真空系統(tǒng)中,一般真空度為10-4~10-7毫米汞柱。
三、供電系統(tǒng)
透射電子顯微鏡需要兩部分電源:一部分是電子槍的高壓部分,另一部分是電磁透鏡的低壓穩(wěn)定部分。電源的穩(wěn)定性是電子顯微鏡性能的一個非常重要的標(biāo)志。因此,供電系統(tǒng)的主要要求是產(chǎn)生高穩(wěn)定的加速電壓和每個鏡頭的磁化電流。除上述電源部分外,現(xiàn)代儀器還具有自動操作程序控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理計算機(jī)系統(tǒng)。