在失效分析過程中，通過光學(xué)顯微鏡主要觀察和記錄樣品的形狀。光學(xué)顯微鏡可以提供幾倍到幾千倍的放大倍數(shù)。此外，光學(xué)顯微鏡對(duì)半導(dǎo)體的某些多層結(jié)構(gòu)具有透明度，如二氧化硅鈍化層。光學(xué)顯微鏡要求樣品為固態(tài)，由于景深的限制，樣品表面應(yīng)平整。

　　顯微鏡的應(yīng)用一般是通過低倍顯微鏡觀察整體外觀和缺陷，然后使用高倍顯微鏡進(jìn)一步確定缺陷，如裂紋、斷裂、污染、變形等異常。常用的顯微鏡觀測(cè)方法包括開放場(chǎng)、暗場(chǎng)、干預(yù)照明、偏振光、熒光顯微鏡等。蘇州南光zoom645s顯微鏡明場(chǎng)照明失效分析：

　　光學(xué)顯微鏡照明場(chǎng)的圖像是由折射光形成的。光源的入射光垂直照射到樣品表面。從樣品表面反射后，再次進(jìn)入物鏡。大部分反射光將返回。因此，照明強(qiáng)度高，適用于表面平整的樣品。明亮場(chǎng)地觀察到的黑暗或不清晰的區(qū)域可能是由于表面不均勻造成的。

　　暗場(chǎng)入射光是從一定的角度發(fā)出的，這樣一些從側(cè)面或不均勻表面反射的光就可以被光路系統(tǒng)接收。因此，可以觀察到一些在開放場(chǎng)中看不到的微觀形狀，得到理想的圖像，即暗場(chǎng)照明通過接收傾斜光和隔離入射光來提供對(duì)比度，對(duì)于檢查縫隙和分層等一些精細(xì)特征。

　　偏振光：偏振光照明是利用偏振器將入射光轉(zhuǎn)化為平面偏振光，提供對(duì)比度。偏振光過濾掉所有與分析儀不平行的光。這種方法可以提供不同相位金屬和相位之間的微觀結(jié)構(gòu)對(duì)比度。此外，液晶熱點(diǎn)檢測(cè)在失效分析中應(yīng)用較多(LCT),偏差過濾器沒有極化入射光，將極化偏振光進(jìn)入樣品表面，旋轉(zhuǎn)偏差檢測(cè)器，直到達(dá)到理想的對(duì)比度，找到液晶溫度異常點(diǎn)，即黑暗區(qū)域。微分干預(yù)照明(DIC)：微分干涉的原理是將光源均勻的光束分割，一束光作為參考，另一束光由樣品改變，然后形成樣品的完整圖形。這一過程對(duì)圖形的細(xì)微變化及其敏感性更為明顯，尤其是在較高的放大倍數(shù)下。它可以使樣品表面的細(xì)微細(xì)節(jié)非常明顯，可以觀察到許多明場(chǎng)無法觀察到的細(xì)節(jié)，法觀察到的細(xì)節(jié)，例如凹凸結(jié)構(gòu)表面的存在，使用差動(dòng)干預(yù)成像是非常有效的。熒光顯微鏡：紫外熒光顯微鏡是一種顯微鏡，用短波長(zhǎng)的紫外光刺激英光觀察。有些標(biāo)本在能見光中無法檢測(cè)到結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，但樣品是用熒光染料染色的，由汞光源直接照射。當(dāng)熒光物質(zhì)被短光波的紫外線照亮?xí)r，它們發(fā)出可見光源并產(chǎn)生可見圖像。有機(jī)材料通常會(huì)激發(fā)綠光，可以檢測(cè)樣品表面的污染物。在對(duì)塑料密封半導(dǎo)體器件的分析中，通常用于檢查水蒸氣通過密封材料2進(jìn)入內(nèi)部的滲透路徑。方法是先填充熒光劑，然后拋光斷面，然后在熒光顯微鏡下觀察。染料進(jìn)入的區(qū)域有分層、開裂、空洞等缺陷。

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