工業(yè)測量顯微鏡廣泛應(yīng)用于許多行業(yè)，尤其是電子行業(yè)。這是為了觀察電路板的結(jié)構(gòu)，準(zhǔn)確測量距離“得力”儀器。關(guān)于顯微鏡的基本測量知識及相關(guān)術(shù)語，今天就和大家聊聊。

　　從顯微鏡的主要組成和光路圖開始。

　　主要組成和光路圖

　　主要組成和光路圖

　　左：顯微鏡的主要構(gòu)成圖，右：顯微鏡的光路圖

　　照明方式

　　上圖提到了顯微鏡的三種照明方法。對于不同的照明方法，觀察圖像也不同，因此有必要根據(jù)不同的工件和測量位置選擇最合適的照明方法。

　　1

　　散射照明

　　散射照明是通過輪廓光觀察，特別是在觀察測量輪廓時，邊緣清晰易觀察。

　　2

　　垂直反射照明

　　垂直反射照明是工件表面的垂直直射測量，適用于觀察和測量表面特性。

　　3

　　外部照明(環(huán)形光纖·環(huán)形LED·雙光纖)

　　外部照明是利用斜射光直接測量工件表面，可以實現(xiàn)立體、色彩重復(fù)性好的觀察。

　　使用顯微鏡時，可能會遇到顯微鏡的專業(yè)術(shù)語，這些術(shù)語是什么意思?

　　專業(yè)用語

　　專業(yè)術(shù)語概覽

　　1

　　綜合放大率

　　綜合放大率=X物鏡倍數(shù)。

　　例：使用10x目鏡和100x物鏡組合時，觀察圖像的綜合放大率=10x100=1000x。

　　2

　　視場數(shù)(F.N)

　　視場數(shù)是指目鏡是否可以在廣闊的視線中觀察指標(biāo)。樣品表面的觀察范圍取決于目鏡的視場闌尾直徑，該直徑值(取決于mm視場數(shù)稱為基準(zhǔn))。F.N=FieldNumber。

　　安裝1x通過目鏡觀察到的圖像直徑為24mm

　　3

　　實視場(FOV)

　　指實際觀察和觀察工件的實際范圍。

　　FOV：FieldOfView

　　4

　　PC顯示倍數(shù)(TV綜合倍數(shù))

　　PC顯示屏倍數(shù)(TV綜合倍數(shù))是指相機拍攝元件的對角線長度PC顯示屏對角線線長度比。當(dāng)顯微鏡通過時。CCD當(dāng)設(shè)備連接到計算機進行圖像觀察時，需要對顯示倍數(shù)進行評估。

　　PC顯示屏倍數(shù)(TV綜合倍數(shù))的計算公式如下：

　　來一個小試題：

　　提問：使用10×物鏡?2/3英尺CCD相機?17英寸顯示器TV綜合倍數(shù)是多少?

　　解答：TV綜合倍數(shù)=10×39.3=393×(大概400倍)

　　5

　　工作距離(WD)

　　工作距離是指從聚焦鏡頭頂點到檢查材料表面的距離，在此距離下可以實現(xiàn)清晰的對焦。工作距離越長，聚焦時操作性越好。沒有必要擔(dān)心鏡頭會遇到檢查對象。

　　WD：WorkingDistance

　　示意圖工作距離

　　6

　　齊焦距離(PFD)

　　聚焦距離是指從物鏡安裝位置到聚焦時檢查材料表面的距離。

　　PFD：ParFieldDistance

　　但從物鏡安裝面到檢查材料表面的距離不同，

　　所以變倍數(shù)時不需要重新對焦。

　　7

　　焦點距離(FD)

　　焦距指鏡頭(主點)到焦點的距離。FD：FocusDistance

　　8

　　焦點深層(DOF)

　　聚焦深度是指聚焦后，聚焦位置前后移動，也能清晰觀察前后移動范圍。DOF：DepthOfFocus

　　高倍率鏡頭的倍數(shù)越大，越深(越短)

　　低倍數(shù)鏡頭的倍數(shù)越小，越深(越長)

　　人眼分辨率以下(約0.1至0.1).3mm)需要用顯微鏡觀察，顯微鏡的觀察方法有哪些?

　　觀察方法

　　1

　　明視場觀察

　　適用于金屬、印刷電路板、淺孔表面的垂直直射測量表面。

　　2

　　暗視場觀察

　　根據(jù)對工件散射光的觀察，可以完成刮痕、灰塵、凹凸、低反射工件的觀察。

　　3

　　偏光觀察

　　適用于半導(dǎo)體材料、液晶、結(jié)晶、金屬組織、礦物質(zhì)等表面觀察具有偏光特征的物質(zhì)。

　　4

　　微分干預(yù)(DIC)觀察

　　利用Nomarski棱鏡將光源分成兩束，產(chǎn)生明暗對比度的變化，可以立體觀察。適用于觀察硅片的晶體缺陷、磁頭研磨面的損傷檢查、涂層表面、金屬組織、礦石表面等。