工業(yè)測(cè)量顯微鏡廣泛應(yīng)用于許多行業(yè),特別是在電子行業(yè),觀察電路板的結(jié)構(gòu),準(zhǔn)確測(cè)量距離儀器。關(guān)于顯微鏡測(cè)量的基本知識(shí),今天就和大家談?wù)劇?/p>
走進(jìn)顯微鏡的世界
首先,我們從顯微鏡的主要成分和光路開始
上圖還提到了顯微鏡的三種照明方法。不同的照明方法和不同的觀察圖像,因此有必要根據(jù)不同的工件和測(cè)量位置選擇最合適的照明方法。
散射照明
選擇通過輪廓光觀察的方法,特別是在觀察和測(cè)量輪廓時(shí),邊緣清晰易觀察。
反射照明
用于觀察和測(cè)量表面特射測(cè)量工件的表面特性。
外部照明(環(huán)形光纖·環(huán)形LED·雙光纖)
用斜射光直接測(cè)量工件表面,可實(shí)現(xiàn)三維、良好的顏色重復(fù)觀察。
使用顯微鏡時(shí),您可能會(huì)遇到顯微鏡的專業(yè)術(shù)語。
綜合放大倍率
綜合放大倍率=x物鏡倍數(shù)目鏡倍數(shù)。
例:使用10x目鏡和100x物鏡組合時(shí),觀察圖像的綜合放大倍率=10x100=1000x。
視場(chǎng)數(shù)F.N
指目鏡能否在廣視線中觀察指標(biāo)。F.N=FieldNumber
安裝1x物鏡時(shí),目鏡觀察到的圖像直徑為24mm
實(shí)視場(chǎng)FOV
是指工件的實(shí)際范圍。FOV:FieldOfView
在分劃板上(顯像鏡頭焦點(diǎn)位置)通過物鏡和顯像鏡頭的光顯像,
觀察被目鏡放大的圖像。
PC顯示倍數(shù)(TV綜合倍數(shù))
PC顯示屏倍數(shù)(TV綜合倍數(shù)是指相機(jī)拍攝元件對(duì)角線的長度PC顯示屏對(duì)角線的長度比。當(dāng)顯微鏡通過時(shí)CCD當(dāng)設(shè)備連接到計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯像觀察時(shí),需要評(píng)估顯示屏倍數(shù)。
PC顯示屏倍數(shù)(TV綜合倍數(shù)的計(jì)算公式如下:
小測(cè)試題:
提問:使用10×物鏡?2/3英尺CCD相機(jī)?17英寸顯示器TV綜合倍數(shù)是多少?
解答:TV綜合倍數(shù)=10×39.3=393×(大概400倍)
工作距離WD
聚焦時(shí)物鏡頭頭頂部到檢查材料表面的距離。工作距離越長,聚焦時(shí)操作性越好,不用擔(dān)心鏡頭會(huì)遇到檢查對(duì)象。WD:WorkingDistance
工作距離示意圖
齊焦距離PFD
從物鏡安裝位置到聚焦時(shí)檢查材料表面的距離。PFD:ParFieldDistance
倍數(shù)不同,但從物鏡安裝面到檢查材料表面的距離不變,
所以變倍數(shù)時(shí)不需要再對(duì)焦。
焦點(diǎn)距離FD
焦點(diǎn)距離是指鏡頭(主點(diǎn))到焦點(diǎn)的距離。FD:FocusDistance
焦點(diǎn)深層DOF
聚焦后,聚焦位置前后移動(dòng),前后移動(dòng)范圍前后移動(dòng)范圍。DOF:DepthOfFocus
照片高倍率鏡頭倍數(shù)越大越深越淡(短)
低倍數(shù)鏡頭倍數(shù)越小越深(長)
在人眼分辨率以下(約0.1-0.3mm)顯微鏡的觀察方法有哪些?
明視場(chǎng)觀察
適用于金屬、印刷電路板、淺孔的表面觀察。
暗視場(chǎng)觀察
根據(jù)觀察工件發(fā)出的散射光,可以觀察明視場(chǎng)下無法觀察到的劃痕、灰塵、凹凸和低反射工件。
偏光觀察
適用于半導(dǎo)體材料、液晶、結(jié)晶、金屬組織、礦物等表面觀察。