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數(shù)碼顯微鏡在微電子和電子行業(yè)的應(yīng)用

時(shí)間:2023-03-21 10:41:32 來源: 點(diǎn)擊:


微電子和電子學(xué)的革新導(dǎo)致了樣品越來越小,傳統(tǒng)的雙目顯微鏡也在不斷面臨挑戰(zhàn)。然而數(shù)碼顯微鏡不使用目鏡,而是用戶可直接通過顯示器進(jìn)行觀察的特點(diǎn),讓微電子的觀察效率有了很大的提高。


控制(QC/QA)或開發(fā)(R&D)時(shí),一些微電子器件的生產(chǎn),如硬盤驅(qū)動(dòng)器,要求對其各個(gè)部件進(jìn)行檢查和質(zhì)量控制,全尺寸:從宏觀(>2毫米)->介觀尺度(10mm~25μm)->微觀尺度(1000μm~500nm)->納米尺度(<500nm)。需要使用數(shù)碼顯微鏡對零件快速進(jìn)行大視野成像,以及精準(zhǔn)的尺寸計(jì)量。從而滿足更快的改進(jìn)制作規(guī)范以及生產(chǎn)需求,優(yōu)化整個(gè)工作流程。使用徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡的以下性能,可快速得出檢查的可靠結(jié)果。本報(bào)告的重點(diǎn)將是大視野、測量功能及傾斜角度(下述紅色字體部分)。


自動(dòng)跟蹤和存儲的可重復(fù),顯微鏡最重要的硬件參數(shù)可記憶(編碼),例如,使用的倍數(shù),照明和相機(jī)設(shè)置等參數(shù)條件可快速重現(xiàn);


超大變焦范圍16:1,鏡頭切換支持熱插拔;


二維尺寸測量及三維尺寸測量


快速角度旋轉(zhuǎn),傾斜角度不同視角觀察樣品;


集成LED(發(fā)光二極管)環(huán)形光和同軸光,具有多方向的照明模式;


數(shù)字快照和數(shù)字10MP的數(shù)碼相機(jī),高畫質(zhì)成像;


XY拼圖功能和Z軸掃描成像功能,可拍攝大范圍大景深的圖像;


DVM6數(shù)碼顯微鏡滿足微觀尺寸(10mm~500nm)的觀察,例如在電子零件領(lǐng)域用于測量硬盤驅(qū)動(dòng)器上零件通孔的直徑、周長和深度分布,以及焊點(diǎn)的長度、面積和高度分布。


1


一顆鏡頭觀察宏觀及微觀:


16:1超大變倍比,一顆鏡頭即可從宏觀觀察到微觀結(jié)構(gòu)。


2


二維及三維測量功能:


不僅可對平面進(jìn)行數(shù)據(jù)測量,還具備了EDOF景深疊加功能,疊加后的圖像可進(jìn)一步進(jìn)行三維尺寸測量。



控制磁頭和執(zhí)行臂的線路板2D尺寸測量



控制磁頭和執(zhí)行臂的線路板3D尺寸測量及3D視圖




3


使用DVM6旋轉(zhuǎn)角度功能進(jìn)行觀察各方位樣品:


支架可傾斜±60°,載物臺可旋轉(zhuǎn)±180度,無需改變樣品角度。


PCB板,傾斜0°+環(huán)形光+勻光器 


PCB板,傾斜5°+環(huán)形光+勻光器,


箭頭墊片部位有劃痕,紅圈PCB表面有劃痕


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