掃描探針顯微鏡是各種新型探針顯微鏡(原子力顯微鏡、靜電力顯微鏡、磁力顯微鏡、掃描離子電導顯微鏡、掃描電化學顯微鏡等)的總稱。)在掃描隧道顯微鏡和掃描隧道顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。今天簡單介紹幾種掃描探針顯微鏡的外觀測量方法。

　　原子力顯微鏡(AFM)/觸摸方法:在AFM觸摸模式下，樣品表面原子與探頭尖端原子之間的作用力通過偏移懸臂檢測和測量。反饋機制將保持偏移穩(wěn)定，同時掃描樣品表面觀察形狀。

　　原子力顯微鏡(AFM)/觸碰方式

　　動態(tài)顯微鏡(DFM)：當探頭靠近樣品表面時，懸臂會不斷振動。探頭和樣品原子之間有力，使懸臂振動很大。因此，在掃描和觀察樣品表面時，有必要保持穩(wěn)定的力。

　　動態(tài)顯微鏡(DFM)

　　掃描隧道顯微鏡(STM)：對金屬探頭和導電樣品施加偏壓。當它們之間的距離小于幾納米時，檢查探頭和樣品之間通過的隧道穿透電流(在穩(wěn)定的隧道穿透電流下掃描樣品表面)。觀察樣品的外觀和電氣狀態(tài)。

　　掃描隧道顯微鏡(STM)

　　樣品智能掃描(SIS)：在SIS模式下，探頭通過接近每個測點獲得樣品的外觀和物理信息，然后探頭縮回并移動到下一個測點。掃描速度可以根據(jù)樣品的表面信息自動調(diào)整，非常智能。SIS通過減少探頭尖端與樣品的接觸，解決了傳統(tǒng)SPM中遇到的問題。特別是對于柔軟的材料、粘合劑和高度差較大的樣品，也可以實現(xiàn)穩(wěn)定的檢測。在電流模式下檢測柔軟的材料時，SIS可以在不損壞樣品的情況下順利收集樣品的外觀信息。SIS也適用于相位。(PM):SIS-PM排除了對樣品外觀的影響，不會造成PM圖像的偽影。SIS-Topo*掃描運動軌跡的示意圖:探頭和樣品只有在獲取數(shù)據(jù)時才會被觸摸。當水平方向高速掃描樣品并感覺到與樣品碰撞時，探頭會自動抬起，調(diào)整高度，掃描下一個測量點。