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電子顯微鏡掃描的基本原理

時間:2023-03-20 10:04:09 來源: 點擊:

  

  在顯微鏡被發(fā)明出來之前,人類對世界的概念僅限于肉眼,或者手持鏡頭幫助人們看東西。如今,顯微鏡已廣泛應用于科學研究和工業(yè)領域,作為人類探索微觀世界不可或缺的工具。人類可以用顯微鏡看到一個全新的“世界”。

  而且顯微鏡又分為光學顯微鏡和電子顯微鏡,這兩種顯微鏡又有何不同?

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  光學顯微鏡

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  光學顯微鏡是一種光學設備,利用光學原理放大人眼無法分辨的細微物體,從而提取細微結構數據。經過300多年的發(fā)展,光學顯微鏡已經完成了結構,并被廣泛應用于醫(yī)學、生物、材料等領域。

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  電子顯微鏡

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  電子顯微鏡技術的應用是基于光學顯微鏡,分辨率更高。根據結構和用途,可分為散射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡。

  主要差別:

  首先,光源不同。光學顯微鏡選擇可見光作為光源,用人眼觀察;電子顯微鏡使用電子束作為光源;其次,成像原理。光學顯微鏡利用幾何光學成像原理進行顯像。電子顯微鏡利用高能電子束對樣品表面進行轟擊,激發(fā)樣品表面的各種物理信號,然后利用不同的信號探測器接受物理信號轉化為圖像信息。

  分辨率也大不相同:光學顯微鏡的分辨率僅限于0.2-0.5um,因為光的干擾和衍射。由于電子顯微鏡使用電子束作為光源,其分辨率可達1-3nm,因此光學顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析,電子顯微鏡的組織觀察屬于納米分析。

  景深也不一樣。一般光學顯微鏡的景深在2-3um之間,對樣品表面的光滑度要求很高,所以樣品制作過程比較復雜。掃描電子顯微鏡的景深可以高達幾毫米,樣品制備相對簡單。

  觀察光學顯微鏡分辨率的局限性μ電子顯微鏡需要用于m以內的材料和材料,而掃描電子顯微鏡具有景深大、分辨率高、視覺直觀、立體感強、放大倍數寬等特點。

  此外,掃描電子顯微鏡可以測量各種樣品,基本上不會損壞和污染原始樣品,并且可以同時獲得形狀、結構、成分和結晶信息。它已廣泛應用于生命科學、物理、化學、司法、地質科學、材料科學和工業(yè)生產的微觀研究。

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  掃描電子顯微鏡

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  由電子光學鏡筒、樣品室、真空系統(tǒng)、檢測器和成像系統(tǒng)組成的掃描電子顯微鏡。

  電子顯微鏡成像掃描原理

  掃描電子顯微鏡使用電子束一點一點地掃描樣品表面,最終產生圖像。當電子束照射到樣品表面時,電子會與樣品的一部分發(fā)生相互作用,即彈性散射和非彈性散射,從而產生大量信號。這些信號可用于成像和半定量分析的常見信號包括:俄歇電子、二次電子、背散射電子、X射線、負極瑩光等。

  一般來說,當用聚焦電子束掃描電子顯微鏡時,樣品會因結構成分不同而產生不同的信號,探測器會檢測到不同的信號,然后顯示出來。

  高速直接電子探測器,聚束科技高通量(現(xiàn)場發(fā)射)掃描電子顯微鏡自主研發(fā)設計,雙通道同步采集。圖像中央控制器強大(ICC),雙路24Kx24K圖像一次最高采集,每張圖像高達6億像素的XHD圖像采集只需6.5.s


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