測量顯微鏡是用于測量精密零件的長度和角度的儀器，廣泛用于計量室，生產(chǎn)線及科學(xué)研究等部門。過去，測量顯微鏡一般由物鏡和測微目鏡組成，屬于目視儀器的范疇，測量結(jié)果容易受到人為因素的影響。在數(shù)字成像技術(shù)普及以后，測微目鏡被CCD相機(jī)取代，結(jié)合圖像分析和數(shù)據(jù)處理，不但實(shí)現(xiàn)了測量自動化，而且提高了測量速度和精度。

　　測量原理

　　假設(shè)被測零件的長度為y，經(jīng)物鏡成像后的長度為y'，物鏡的放大倍數(shù)為β，那么存在以下關(guān)系：

　　根據(jù)幾何光學(xué)，物鏡放大倍數(shù)也可以表示為

　　其中f為物鏡物方焦距，f’為像方焦距，且有f’=-f。x為焦物距，即物鏡物方焦點(diǎn)到被測物體的距離。x’為焦像距，即物鏡像方焦點(diǎn)到像的距離。將(2)代入(1)得到

　　由(3)可知，當(dāng)物鏡焦距確定后，被測長度值y取決于像的大小y’以及被測物體和CCD表面相對于物鏡的位置。如果后者由于某些原因出現(xiàn)偏差，比如CCD安裝位置誤差或調(diào)焦誤差(詳見下節(jié))，就會導(dǎo)致實(shí)際放大率偏離理論放大率，從而導(dǎo)致測量誤差，因?yàn)楸粶y物體的大小是根據(jù)公式(1)中的理論放大倍數(shù)計算出來的。所謂理論放大倍數(shù)是測量顯微物鏡的主要性能參數(shù)之一，通?？淘谖镧R筒身上，比如1X，0.5X等字樣。

　　物方遠(yuǎn)心光路

　　為了保證被測物體清晰地成像在CCD表面，需要改變被測物體到測量顯微鏡之間的距離，直到得到清晰的像為止，這個過程稱為調(diào)焦。